微型電子機械系統傳感器
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微型電子機械系統，英文全稱為Micro-Electro Mechanical System，簡稱MEMS，該種系統可量產，長度不超過一厘米，為結合微型傳感器、訊號處理和控制電路、電源、接口等的半導體器件系統。
MEMS傳感器種類繁多，可用於光學、聲學、熱學、濕度等傳感器器件，由於為獲取訊息的關鍵器件，已應用於消費電子產品、汽車、衛星、運載火箭、航空航天設備、飛機及生物醫學等領域。
譬如在智能手機領域，MEMS傳感器可令智能手機具備接收聲音、識別手勢、定位方向、感知溫度及濕度等功能。
根據IHS數據，2013年全球最大MEMS傳感器供應商為博世（Bosch），收入約10.01億美元；瑞聲科技（02018）為全球第20大供應商，當年收入約1.08億美元。
