【國產光刻機測中芯】宇量昇28奈米DUV獲正面結果　技術追近ASML十七年前世代　傳明年產量擴至20台

據公開資料及多方報道，上海企業宇量昇科技研發的國產浸潤式 DUV 光刻機，近月已交付中芯國際進行測試，初步結果令業界感到鼓舞。宇量昇成立於 2022 年，註冊資本達人民幣 10 億元，總部設於上海浦東，股權由深圳新凱來科技與上海創科微等機構持有，被視為與華為半導體生態圈關係密切的設備商。市場消息並指，該公司今年計劃出貨約 5 台設備予中芯國際、華虹半導體及長鑫存儲等本土晶片廠，明年目標則提高至約 20 台。

技術規格：瞄準28奈米　多重曝光挑戰7奈米

這台國產設備採用與 ASML 相近的浸潤式曝光技術，外界推測其性能大約相當於 ASML 早年 NXT: 1950i 世代機種，主要瞄準 28 奈米級別製程。透過多重曝光技術，理論上亦可用於生產 7 奈米甚至 5 奈米級別的晶片，惟良率預期會較低。有分析引述資深半導體分析師指出，新款 DUV 設備一般需要至少一年反覆調校，方能達到量產所需的穩定度與良率，意味中芯目前的測試僅屬起步階段，距離正式導入量產產線仍有一段路。中芯本身亦計劃於 2026 年將產能提升至現有的三倍，惟屆時大部分增產仍將依賴現有 ASML 設備，國產設備最快要到 2027 年後方有望投入量產。

【業界觀察】量產數據仍是關鍵未知數

多位業內人士指出，送入中芯測試不等同已成為量產工具，五台交付量亦未必代表重大突破。真正決定成敗的，是套刻精度能否長時間保持穩定、每小時可處理的晶圓片數、機台可用率與故障頻率、關鍵零件壽命，以及能否最終通過客戶正式驗收等一系列量產級數據。若國產設備能做到「製程雖屬成熟級但穩定可靠、維修不受出口管制掣肘」，並獲中芯、華虹與長鑫等多間廠商共同驗證使用，其戰略價值仍然不容忽視 — 尤其在美國持續收緊對華晶片設備出口管制的背景下，此類設備有助中國晶片廠減低對外部供應鏈的依賴。

市場反應：消息一度衝擊ASML股價

國產 DUV 設備進展的消息，早前一度在市場掀起漣漪，ASML 股價曾於消息流出後單日一度下挫超過 4%，反映投資者憂慮中國設備自主化進度若持續加快，長遠或影響 ASML 在中國市場的新機銷售，以至後續維修、升級與服務收入。不過亦有分析認為，即使國產設備如期擴產，其技術世代與 ASML 現時主力機種仍存在顯著差距，短期內難以撼動 ASML 在先進封裝與極紫外光（EUV）領域的絕對優勢，兩者之間的技術鴻溝，預料仍需數年時間方有望收窄。

現階段而言，國產 DUV 光刻機仍處於「測試獲正面反饋」的早期階段，能否撐過量產驗收的重重考驗，仍是未知之數。這場中國半導體設備自主化的長跑，最終能否真正動搖 ASML 的市場地位，仍需時間與數據逐步印證。

免責聲明：本專頁刊載的所有投資分析技巧，只可作參考用途。市場瞬息萬變，讀者在作出投資決定前理應審慎，並主動掌握市場最新狀況。若不幸招致任何損失，概與本刊及相關作者無關。而本集團旗下網站或社交平台的網誌內容及觀點，僅屬筆者個人意見，與新傳媒立場無關。本集團旗下網站對因上述人士張貼之資訊內容所帶來之損失或損害概不負責。